Скорость диффузии атомов небольшого размера по междоузлиям сплава определяется энергией, необходимой для передвижения атомов внедрения МО кристаллической решетке. Элементарный акт диффузии в таких сплавах схематически показан.
Междоузлия в которых атомы занимают положения равновесия, соответствуют минимуму энергии. Из условий симметрии следует, что максимум энергии достигается в точке с, посередине между положениями равновесия.
Увеличение энергии кристалла Ет при перемещении атома в среднее положение вызвано главным образом появлением упругих напряжений, возникающих при «прохождении» диффундирующего атома через узкое пространство между атомами решетки. Для многих сплавов величина Е,„ составляет около 1 эв и, поскольку средняя тепловая энергия атома при умеренных температурах не превышает 0,1 эв, то для преодоления энергетического барьера E, необходима большая флуктуация энергии. Следовательно, частота прыжков атома из одного междоузлия в другое определяется частотой появления достаточно больших флуктуаций энергии атома. Можно легко выразить частоту таких прыжков fnh При обычных тепловых колебаниях относительно положения равновесия атом \> ран в секунду «ударяется» о потенциальный барьер. Большую часть времени энергия атома слишком мала для преодоления барьера, но иногда, благодаря флуктуациям.